Deep reactive-ion etching
[ca] Gravat d'ions reactius profunds
[de] Reaktives Ionentiefenätzen
[fa] حکاکی یون راکتیو عمیق
[fr] Gravure ionique réactive profonde
[ja] 深掘りRIE
[pt] Corrosão profunda assistida por íons
[sv] Djup reaktiv jonetsning