X-ray lithography
[ca] Litografia de raigs X
[de] Röntgenlithografie
[es] Litografía de rayos X
[fa] طرح‌نگاری پرتوی ایکس
[kk] Рентгенолитография
[pl] Rentgenolitografia
[ru] Рентгеновская литография
[uk] Рентгенівська літографія