EXMA staan vir Elektrontastende X-straal-mikroanalise (Eng.: EPXMA of EPMA: Electron Probe X-ray Micro Analysis) en sy rekenaarbestuurde vorm RB-EXMA (Eng.: CC-EP(X)MA: cumputer controlled EXPMA) is 'n belangrike fisies-chemiese ontledingstegniek, wat die elementêre samastelling van vaste stowwe wat in 'n skanderende elektronmikroskoop ondersoek word, kan ophelder.[1]
EXMA is 'n nie-vernietigende tegniek wat die bepaling van die elementêre samestelling van klein volumes van 'n vaste materiaal moontlik maak. In 'n EXMA-analiseerder word 'n elektronstraal gegenereer en op die monster gerig wat ondersoek word. Dit wek X-strale op wat spesifiek is vir die elemente waaruit die monster bestaan. 'n Golflengte-verspreidende spektrometer (WDS) word gebruik om die X-strale wat deur die monster uitgestraal word, te ontleed. Dit word bereik deur diffraksie van die X-strale aan 'n kristal met bekende selparameters.[2]
Deur die elektronstraal te skandeer en 'n elektrondetektor te gebruik, kan ook mikroskopiese beelde verkry word. In hierdie modus is 'n EPMA soortgelyk aan die SEM, waarin dikwels energie-verspreidende spektrometrie (EDS) beskikbaar is. Nogtans bied WDS baie verbeterde energieresolusie en sein-tot-geraas-verhouding in vergelyking met EDS. Om egter 'n meer akkurate kwantitatiewe analise te verkry en om die volle X-straalspektrum te dek, word 'n reeks kristalle met verskillende roosterparameters benodig. Verder lê die meganika van WDS streng geometriese beperkings op die posisies van die monster, die kristalspektrometer en die detektor. Dit maak dit moeilik, maar nie onmoontlik nie, om so 'n stelsel in 'n elektronmikroskoop te pas.[2]
'n Spesiale instrument word benodig. Tipies word vier rekenaarbeheerde kristalspektrometers wat 'n reeks kristalle van verskillende roosterspasiëring bevat in 'n toegewyde EPMA-stelsel geïnstalleer. Sulke toerusting kan meer akkurate kwantitatiewe analise as die EDS X-straal-analises in 'n standaard-elektronmikroskoop bereik.[2]
{{cite journal}}
: AS1-onderhoud: gebruik authors-parameter (link)
{{cite book}}
: AS1-onderhoud: gebruik authors-parameter (link)