ثلاثي فلوريد النتروجين | |
---|---|
الاسم النظامي (IUPAC) | |
Nitrogen trifluoride |
|
المعرفات | |
رقم CAS | 7783-54-2 |
بوب كيم (PubChem) | 24553 |
مواصفات الإدخال النصي المبسط للجزيئات
|
|
الخواص | |
الصيغة الجزيئية | NF3 |
الكتلة المولية | 71.00 غ/مول |
المظهر | غاز عديم اللون |
الكثافة | 1.54 غ/سم3 (عند -129 °س) |
نقطة الانصهار | − 206.6 °س |
نقطة الغليان | − 128.8 °س |
الذوبانية في الماء | 0.021 غ/100 مل ماء |
في حال عدم ورود غير ذلك فإن البيانات الواردة أعلاه معطاة بالحالة القياسية (عند 25 °س و 100 كيلوباسكال) | |
تعديل مصدري - تعديل |
ثلاثي فلوريد النتروجين هو مركب كيميائي من عنصري النتروجين والفلور، له الصيغة الكيميائية NF3، ويكون على شكل غاز عديم اللون.
يحضر ثلاثي فلوريد النتروجين من التفاعل الحفزي للأمونياك مع غاز الفلور:
أو من التحليل الكهربائي لمصهور بيفلوريدات الأمونيوم.[3]
لا يمكن إجراء عملية التحضير للمركب من التفاعل المباشر للعناصر المكوّنة إلا تحت ظروف تفاعلية قاسية تتطلب إجراء عملية تفريغ كهربائي تحت ضغط ودرجات حرارة مرتفعة.[4]
يستخدم ثلاثي فلوريد النتروجين في صناعة أشباه الموصلات وخاصة من أجل إنتاج الشاشات المسطحة والخلايا الشمسية وذلك من أجل تنظيف السطوح (تنميش بالبلازما) لعملية الترسيب الكيميائي للبخار المدعم بالبلازما لمركبات السيليكون (السيليسيوم)، مثل ثنائي أكسيد السيليكون ونتريد السيليكون.