Рэнтгенаспектральны аналіз - інструментальны метад элементнага аналізу, заснаваны на вывучэнні спектру рэнтгенаўскіх прамянёў, якія прайшлі скрозь ўзор або былі выпушчаныя ім.
Пры апрамяненні ў атама выдаляюцца электроны з унутраных абалонак. Электроны з знешніх абалонак пераскокваюць на вакантныя месцы, каб вызваліць залішнюю энергію ў выглядзе кванта рэнтгенаўскага дыяпазону або перадаць яе іншаму электрону з знешніх абалонак (ожэ-электрон). Па энергіі і колькасці выпушчаных квантаў судзяць аб колькасным і якасным складзе аналізаванай рэчывы.
У якасці крыніц ўзбуджэння ўжываюць рэнтгенаўскае выпраменьванне (першаснае выпраменьванне) або электронны пучок.
Для аналізу спектру другаснага выпраменьвання ўжываюць альбо дыфракцыю рэнтгенаўскіх прамянёў на крышталі (хвалевая дысперсія), альбо выкарыстоўваюць дэтэктары, адчувальныя да энергіі паглынутага кванта (энергетычная дысперсія). Хваледысперсійны спектраметэр адрозніваецца высокай дакладнасцю, але працуе павольней, чым энергадысперсійны спектраметэр. Так руцінны эксперымент складае толькі некалькі хвілін. Сучасныя энергадысперсійныя мікрааналізатары не патрабуюць азотнага астуджэння, што спрашчае іх эксплуатацыю.
Вынікі аналізу могуць быць якаснымі (гэта значыць, адказваць на пытанне «з якіх элементаў складаецца ўзор?") або колькаснымі (адказваць на пытанне "якая колькасць кожнага з элементаў в ўзоры?)
Прыборы для правядзення рэнтгенаспектральнага мікрааналіза бываюць самастойнымі або спадарожнымі ў выглядзе прыставак ў іншых прыборах (гл. ніжэй).
Так большасць электронных мікраскопаў, у прыватнасці растравых электронных мікраскопаў, маюць хваледысперсійныя і/або энергадысперсійныя прыстаўкі. Для генерацыі характарыстычнага рэнтгенаўскага выпраменьвання выкарыстоўваецца электронны пучок мікраскопа. Прасторавае разрозненне рэнтгенаўскага мікрааналіза для растравых электронных мікраскопаў знаходзіцца ў вобласці 1 мкм, для тых, якія прасвечваюць - парадку некалькіх нм.
У іншым моўным раздзеле ёсць паўнейшы артыкул X-ray spectroscopy(англ.) |