Röntgenspektroskopie (XRS für engl. X-Ray Spectroscopy) oder Röntgenspektralanalyse ist ein Teilgebiet der Spektroskopie, das sich mit der Wechselwirkung von Röntgenstrahlung und materiellen Systemen beschäftigt. Sie dient hauptsächlich dem qualitativen und quantitativen Nachweis von chemischen Elementen.[1]
Die verschiedenen Messverfahren lassen sich unterteilen in:
Grob lässt sich der Röntgenstrahlungs-Teil des elektromagnetischen Spektrums weiter einteilen in: