Typpitrifluoridi | |
---|---|
Tunnisteet | |
CAS-numero | |
PubChem CID | |
Ominaisuudet | |
Molekyylikaava | NF3 |
Moolimassa | 71,0019 g/mol |
Ulkomuoto | väritöntä kaasua |
Sulamispiste | –207.15 °C (66 K) |
Kiehumispiste | –129,1 °C (144 K) |
Tiheys | 1,885 g/cm3 |
Liukoisuus veteen | ei liukene |
Typpitrifluoridi on epäorgaaninen yhdiste, jonka kaava on NF3. Ulkomuodoltaan se on väritöntä ja palamatonta kaasua. Sitä käytetään puolijohteiden plasmaetsauksessa.
Se reagoi fluorin ja antimonipentafluoridin kanssa tuottaen tetrafluoriammoniumsuolaa, tetrafluoriammoniumheksafluoroantimonaattia.
Typpitrifluoridin GWP-indeksi on 17 200 kertaa suurempi kuin hiilidioksidin[1] ja sen elinajaksi ilmakehässä arvioidaan 740 vuotta. Toisissa tutkimuksissa sen elinajaksi arvioidaan 550 vuotta, mikä pudottaa sen GWP-indeksin 16 800:een. Käytön jälkeen suurin osa kaasusta tuhotaan, ja muutaman tutkimuksen mukaan vain 2–3 % pääsee ilmakehään.[2]
Aine tulee pitää erillään palavista ja pelkistävistä aineista. Se voi imeytyä elimistöön hengitysteitse ja pitkäaikaisella altistuksella saattaa olla vaikutuksia maksaan ja munuaisiin.