Sekondêre-Ioane-Massa-Spektroskopy (SIMS)
Sekondêre-Ioane-Massa-Spektrometry (SIMS) is in metoade foar it analysearjen fan oerflakken. Dêrta wurdt it meunster yn fakúm bestriele mei ioanen (lytse ladene dieltsjes). Dêrtroch wurde dan ioanen fan it oerflak fan it meunster losslein, dêr't dan de massa fan woegen wurdt. Dat weagen fan dy saneamde sekondêre ioanen bart yn in massa-spektrometer, dat dan kin de atoommassa fêststeld wurde en men wit, om hokker elemint it giet. De metoade is tige gefoelich en de gefoeligens kin 10-16 oant 10-12 atomen/cm3 bedrage, dat is minder as in miljoenste persint! Dêrmei is de metoade in miljoen kear gefoeliger as Auger-Elektroane-Spektroskopy (AES).
De resultaten krijt men as massa-spektra, hjir b.g. foar nikkel. Dêrby kin men de isotopen apart sjen, hjir dus op atoommasssa's 58, 60, 61, 62 un 64. Gewoanlik stiet de ferhâlding tusken de isotopen fêst, mar yn guon gefallen kin dat oars wêze, b.g. troch nukleêre prosessen. Dat kin men dan oan it SIMS-spektrum sjen.
By it oare spektrum giet it oer fosfor. Dat hat mar ien isotoop (massatal 31), mar opfallend binne lytse pykjes op 62 en 93. Dat binne clusters (kluten) fan twa of trije atomen mei inkelde lading. Dat kin ôfhingje fan de wize fan bestrieljen. No is it minne, dat de pyk op 62 gearfalt mei in isotoop fan nikkel. Op dy wize kinne piken fan ûnderskate eleminten inoar steure en dat is in neidiel fan SIMS.
In folle grutter neidiel is, dat allinne de ioanen (ladene dieltsjes) metten wurde en dat net goed fêst te stellen is, hoe'n grut part dy fan alle losleine dieltsjes útmeitsje. Brûkt men foar it bestrieljen b.g. it edelgas Argon, dan wurde gjin ferbinings foarme en ûntsteane mar in hiel lyts bytsje sekondêre ioanen. Men kin dat ferbetterje troch in bytsje soerstof yn it fakúm ta te litten. Folle gefoeliger wurdt de metoade troch it meunster mei ioanen fan in oar gas te bestrieljen. Der hinget ek folle fan ôf, oft it materiaal fan it meunster sels al in gearstalling, b.g. in oksyde is. Troch al sokke oarsaken kin de gefoeligens fan SIMS mear as in faktor tûzen skille en moat faak mei referinsje-meunsters wurke wurde om noch in bytsje te witten wat men hat.