Պլազմային այրիչ, ձեռքի աղեղային պլազմարոն, որը ծառայում է երեսապատման, կտրման, եռակցման, մակահալման և պլազմային մշակման այլ պրոցեսների համար։
Ըստ գործողության սկզբունքի տարբերում են պլազմային աղեղով և պլազմային շիթով աշխատող պլազմային այրիչներ։ Մեքենայացված մշակման դեպքում պլազմային այրիչը ամրացվում է հատուկ տեղակայանքի վրա։ Պլազմային այրիչի հզորությունը հասնում է 100 կվ։
Որպես պլազմագոյացնող գազեր են ծառայում Ar, He, N2, NH3, օդը և դրանց խառնուրդները։ Աշխատանքի սկզբում աղեղային պարպում առաջացնելու համար անհրաժեշտ է փակել բացակը պլազմային այրիչի անոդի և կաթոդի միջև (պլազմային շիթ) կամ կաթոդի և մշակվող մետաղի միջև (պլազմային աղեղ), կամ էլ պարպում առաջացնել որևէ այլ ձևով։
Այս հոդվածի կամ նրա բաժնի որոշակի հատվածի սկզբնական կամ ներկայիս տարբերակը վերցված է Քրիեյթիվ Քոմմոնս Նշում–Համանման տարածում 3.0 (Creative Commons BY-SA 3.0) ազատ թույլատրագրով թողարկված Հայկական սովետական հանրագիտարանից (հ․ 9, էջ 313)։ |
|