Spektrometri massa ion sekunder

Spektrometri massa ion sekunder

SIMS sektor magnetik lama, model IMS 3f, digantikan oleh model 4f, 5f, 6f, 7f dan yang terbaru, 7f-Auto, yang diluncurkan pada tahun 2013 oleh produsen CAMECA.
Akronim	SIMS
Klasifikasi	Spektrometri massa
Analisis	Permukaan padat, lapisan tipis
Other techniques
Terhubung juga dengan	Pemborbardiran atom cepat Mikroprob

Spektrometri massa ion sekunder (SIMS) adalah teknik yang digunakan untuk menganalisis komposisi permukaan padat dan lapisan tipis dengan memercikkan permukaan suatu spesimen dengan berkas ion primer terfokus dan mengumpulkan serta menganalisis ion sekunder yang dikeluarkan. Rasio massa/muatan ion sekunder ini diukur dengan spektrometer massa untuk menentukan komposisi unsur, isotop, atau molekul permukaan hingga kedalaman 1 hingga 2 nm. Karena adanya variasi yang besar dalam probabilitas ionisasi di antara unsur-unsur yang terpercik dari bahan yang berbeda, perbandingan terhadap standar yang dikalibrasi dengan baik diperlukan untuk mencapai hasil kuantitatif yang akurat. SIMS merupakan teknik analisis permukaan yang paling sensitif, dengan batas deteksi unsur mulai dari bagian per juta hingga bagian per miliar.

Lihat pula

• NanoSIMS

Referensi

Bibliografi umum

• Benninghoven, A., Rüdenauer, F. G., Werner, H. W., Secondary Ion Mass Spectrometry: Basic Concepts, Instrumental Aspects, Applications, and Trends, Wiley, New York, 1987 (1227 pages), ISBN 0-471-51945-6
• Vickerman, J. C., Brown, A., Reed, N. M., Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications, Clarendon Press, Oxford, 1989 (341 pages), ISBN 0-19-855625-X
• Wilson, R. G., Stevie, F. A., Magee, C. W., Secondary Ion Mass Spectrometry: A Practical Handbook for Depth Profiling and Bulk Impurity Analysis, John Wiley & Sons, New York, 1989, ISBN 0-471-51945-6
• Vickerman, J. C., Briggs, D., ToF-SIMS: Surface Analysis by Mass Spectrometry', IM Publications, Chichester UK and SurfaceSpectra, Manchester, UK, 2001 (789 pages), ISBN 1-901019-03-9
• Bubert, H., Jenett, H., 'Surface and Thin Film Analysis: A Compendium of Principles, Instrumentation, and Applications, pp. 86–121, Wiley-VCH, Weinheim, Germany, 2002, ISBN 3-527-30458-4

Pranala luar

• (Inggris) Tutorial pages for SIMS theory and instrumentation