ダウォン・カーン (英語 : Dawon Kahng 、朝鮮語 : 강대원 、1931年 5月4日 - 1992年 5月13日 )は、朝鮮系アメリカ人 の電気工学者、発明家。
固体電子工学 (英語版 ) における業績で知られ、1959年にモハメド・アタラ (英語版 ) とともにMOSFET を発明したことで有名。アタラとともにMOSFET半導体デバイス製造 のPMOS とNMOS プロセスを発展させた。MOSFETは、最も広く使用されているタイプのトランジスタ であり、近年の電子機器 の基本素子である。
カーンとアタラは後にMOS集積回路 の概念を提案し、1960年代初頭にショットキーダイオード とナノ層 ベーストランジスタに関する先駆的な研究を行った。その後、1967年にサイモン・ジィー とともに浮遊ゲートMOSFET (FGMOS)を発明した。カーンとジィーは、FGMOSは不揮発性メモリ (NVM)やリプログラマブルROM (ROM)の浮遊ゲートメモリセル (英語版 ) として使用できることを提案した。NVMやROMはEPROM (erasable programmable ROM )、EEPROM (electrically erasable programmable ROM)やフラッシュメモリ 技術の基礎となった。2009年に全米発明家殿堂 入りした。
1931年5月4日、朝鮮 の京城府 (現在の韓国 ソウル )生まれ。韓国 のソウル大学校 で物理学を学び、1955年にアメリカ合衆国 に移住し、オハイオ州立大学 に入学し、1959年に電気工学の学位を得た[ 3] 。
MOSFET は1959年にベル研究所でカーンと同僚のモハメド・アタラにより発明された。
ニュージャージー州マレーヒルのベル研究所 の研究員であり、1959年にモハメド・アタラ (英語版 ) とともに今日の電子機器の基本素子であるMOSFET (金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ、metal–oxide–semiconductor field-effect transistor)を発明した[ 4] 。彼らは20 µmプロセス でPMOSデバイスとNMOSデバイスの両方を製造した[ 5] 。
MOS技術の研究を拡張し、後にショットキーバリア と呼ばれるものを使用するホットキャリア デバイスの先駆的な研究を行った[ 6] 。ショットキーバリアダイオード は何年も前から理論化されていたが、1960-61年のカーンとアタラの研究の結果として初めて実現された[ 7] 。1962年にその結果を発表し、そのデバイスを半導体金属エミッタを備える「ホットエレクトロン」三極構造("hot electron" triode structure with semiconductor-metal emitter)と呼んだ[ 8] 。ショットキーダイオードは、ミキサ の用途で重要な役割を担うようになった[ 7] 。その後、彼らは高周波ショットキーダイオードに関するさらなる研究を行った[要出典 ] 。
1962年、カーンとアタラは、初期の金属 ナノ層 ベーストランジスタ を提案し、実証した。このデバイスは、2つの半導体層の間にナノメートルの厚さの金属層が挟まれており、金属がベースを形成し、半導体がエミッタとコレクタを形成する。薄い金属ナノ層ベースにおいて抵抗が小さく遷移時間が短いため、デバイスはバイポーラトランジスタ と比較して高い周波数での動作が可能であった。彼らの先駆的な研究は、金属層(ベース)を単結晶 半導体基板 (コレクタ)の上に堆積することであり、エミッタは金属層(点接触)に上部又は尖っていない角がプレスされた結晶半導体片である。彼らはn型 ゲルマニウム (n-Ge)上に厚さ10nmの金 (Au) 薄膜 を堆積し、点接触はn型シリコン(n-Si)であった[ 9] 。
同僚のサイモン・ジィー とともに浮遊ゲートMOSFET を発明し、1967年に初めて報告した[ 10] 。彼らはまた、様々な形態の半導体メモリ デバイスの基礎となる浮遊ゲートメモリセル (英語版 ) を発明した。1967年には浮遊ゲート不揮発性メモリ を発明し、MOS半導体デバイスの浮遊ゲートがリプログラマブルROMのセルに使用できることを提案した。これは後にEPROM (erasable programmable ROM )[ 11] 、EEPROM (electrically erasable programmable ROM) やフラッシュメモリ 技術の基礎となった。強誘電体 半導体や発光材料の研究も行い、エレクトロルミネセンス の分野に重要な貢献をした[要出典 ] 。
ベル研究所を退職後、ニュージャージー州のNEC研究所 (英語版 ) の初代所長となった。IEEEフェローであり、ベル研究所のフェローでもあった。破裂した大動脈瘤のための緊急手術後の合併症により死去した[ 2] 。
カーンとアテラは、1975年にMOSFETの発明により、フランクリン協会 (英語版 ) のスチュアート・バレンタイン・メダル を受賞している[ 12] [ 13] 。2009年には全米発明家殿堂 入りしている[ 14] 。2014年に、1959年のMOSFETの発明が電子工学のIEEEマイルストーンに入っている[ 15] 。
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