TEOS jest jednym z najczęściej stosowanych prekursorów w reakcji zol-żel[5][7]. W reakcji z wodą ulega on stopniowej hydrolizie, przez silanole do kwasu ortokrzemowego, Si(OH) 4[5]:
Si(OC 2H 5) 4 + H 2O ⇄ Si(OC 2H 5) 3OH + C 2H 5OH
Si(OC 2H 5) 3OH + H 2O ⇄ Si(OC 2H 5) 2(OH) 2 + C 2H 5OH
Si(OC 2H 5) 2(OH) 2 + H 2O ⇄ Si(OC 2H 5)(OH) 3 + C 2H 5OH
Si(OC 2H 5)(OH) 3 + H 2O ⇄ Si(OH) 4 + C 2H 5OH
Reakcja ta katalizowana jest m.in. kwasami i zasadami[8]. TEOS jest nierozpuszczalny w wodzie, a podczas hydrolizy powstaje zol, w wyniku czego mieszanina reakcyjna jest mętna[5].
Powstające silanole ulegają kondensacji do siloksanów, ≡Si−O−Si≡ (gdzie Si≡ oznacza atom krzemu z 3 dowolnymi podstawnikami, a nie wiązanie potrójne). Reakcja ta może przebiegać z uwolnieniem cząsteczki etanolu lub wody[5][9]:
≡Si−OEt + HO−Si≡ ⇄ ≡Si−O−Si≡ + EtOH
≡Si−OH + HO−Si≡ ⇄ ≡Si−O−Si≡ + H 2O
Podczas kondensacji zol ulega przekształceniu w żel[5].
Proces prowadzi się często w roztworze alkoholowo-wodnym[9][10], przy czym alkohol nie służy jedynie jako rozpuszczalnik dla TEOS, ale bierze też udział w reakcjach – są one bowiem odwracalne, a alkohol powoduje przesunięcie równowagi w kierunku substratów[9]. W niektórych podejściach nie stosuje się jednak alkoholu[11][12].
Końcowym produktem procesu jest krzemionka. W zależności od warunków uzyskuje się cząstki o różnej wielkości i kształcie[13], będące gigantycznymi makromolekułami[14]. Produkty o regularnym, kulistym kształcie i jednolitej wielkości powstają podczas tzw. procesie Stöbera, opisanego po raz pierwszy w 1968 r. przez Wernera Stöbera, Arthura Finka i Ernsta Bohna. Średnica uzyskiwanych cząstek wynosi od 5 nm do 2 μm[11][12][15][16][17].
↑M.M.StammlerM.M., R.R.BruennerR.R., D.D.OrcuttD.D., Diffraction Maxima Positions in Two Types of Liquid Organosilicon Compounds, „Advances in X-ray Analysis”, 8, 1964, s. 162–174, DOI: 10.1154/S0376030800003074 [dostęp 2022-01-10](ang.).
↑ abcdefJustynaJ.KrzakJustynaJ. i inni, Sol–gel surface functionalization regardless of form and type of substrate, [w:] Chaudhery MustansarCh.M.Hussain (red.), Handbook of nanomaterials for manufacturing applications, Elsevier, 2020, s. 111–147, DOI: 10.1016/b978-0-12-821381-0.00005-3, ISBN 978-0-12-821381-0 [dostęp 2022-01-07](ang.), patrz s. 114.
↑HudaH.AbdullahHudaH. i inni, (SiO2)100-x-Nix (x = 2.5, 10.0) Composite-based photoanode with polymer gel electrolyte for increased dye-sensitized solar cell performance, „Ionics”, 25 (7), 2019, s. 3387–3396, DOI: 10.1007/s11581-019-02886-w [dostęp 2022-01-10](ang.).
↑ abQianQ.GuoQianQ. i inni, Synthesis and characterization of spherical silica nanoparticles by modified Stöber process assisted by slow-hydrolysis catalyst, „Colloid and Polymer Science”, 296 (2), 2018, s. 379–384, DOI: 10.1007/s00396-017-4260-0 [dostęp 2022-01-10](ang.).
↑ abGaoyuanG.RenGaoyuanG., HongjiuH.SuHongjiuH., ShudongS.WangShudongS., The combined method to synthesis silica nanoparticle by Stöber process, „Journal of Sol-Gel Science and Technology”, 96 (1), 2020, s. 108–120, DOI: 10.1007/s10971-020-05322-y [dostęp 2022-01-10](ang.).
↑WernerW.StöberWernerW., ArthurA.FinkArthurA., ErnstE.BohnErnstE., Controlled growth of monodisperse silica spheres in the micron size range, „Journal of Colloid and Interface Science”, 26 (1), 1968, s. 62–69, DOI: 10.1016/0021-9797(68)90272-5 [dostęp 2022-01-10](ang.).
↑Mary W.M.W.ColbyMary W.M.W., A.A.OsakaA.A., J.D.J.D.MackenzieJ.D.J.D., Effects of temperature on formation of silica gel, „Journal of Non-Crystalline Solids”, 82 (1-3), 1986, s. 37–41, DOI: 10.1016/0022-3093(86)90108-0 [dostęp 2022-01-10](ang.).
↑MercedesM.PerulliniMercedesM. i inni, Effect of synthesis conditions on the microstructure of TEOS derived silica hydrogels synthesized by the alcohol-free sol–gel route, „Journal of Sol-Gel Science and Technology”, 59 (1), 2011, s. 174–180, DOI: 10.1007/s10971-011-2478-8 [dostęp 2022-01-10](ang.).
↑LiborL.MatějkaLiborL., JosefJ.PleštilJosefJ., KarelK.DušekKarelK., Structure evolution in epoxy–silica hybrids: sol–gel process, „Journal of Non-Crystalline Solids”, 226 (1-2), 1998, s. 114–121, DOI: 10.1016/S0022-3093(98)00356-1 [dostęp 2022-01-10](ang.).
↑A. VenkateswaraA.V.RaoA. VenkateswaraA.V., Sharad D.S.D.BhagatSharad D.S.D., Synthesis and physical properties of TEOS-based silica aerogels prepared by two step (acid–base) sol–gel process, „Solid State Sciences”, 6 (9), 2004, s. 945–952, DOI: 10.1016/j.solidstatesciences.2004.04.010 [dostęp 2022-01-10](ang.).
↑A. VenkateswaraA.V.RaoA. VenkateswaraA.V. i inni, Influence of temperature on the physical properties of TEOS silica xerogels, „Ceramics International”, 25 (6), 1999, s. 505–509, DOI: 10.1016/S0272-8842(97)00085-0 [dostęp 2022-01-10](ang.).
↑Robert L.R.L.BedardRobert L.R.L., Synthesis of Zeolites and Manufacture of Zeolitic Catalysts and Adsorbents, [w:] SantiS.Kulprathipanja (red.), Zeolites in industrial separation and catalysis, Weinheim: Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, 2010, s. 61–83, DOI: 10.1002/9783527629565.ch3, ISBN 978-3-527-62956-5, OCLC587391498(ang.).
Hydrolysis and Condensation II: Silicates, [w:] C. JeffreyC.J.BrinkerC. JeffreyC.J., George W.G.W.SchererGeorge W.G.W., Sol-gel science. The physics and chemistry of sol-gel processing, Boston: Academic Press, 1990, s. 96–233, DOI: 10.1016/b978-0-08-057103-4.50008-8, ISBN 978-0-08-057103-4, OCLC643802700(ang.).