Dopant je snov, ki jo vnesemo v izredno majhnih količinah (v sledeh) v snov, da bi s tem snovi spremenili električne in optične lastnosti.
V kristalnih snoveh atomi dopanta zavzamejo mesta atomov kristala. Postopek za vnos dopanta v kristalno mrežo imenujemo dopiranje. Najbolj pogosto se dopiranje uporablja pri izdelavi polprevodnikov.
Kadar dodajamo elemente, ki imajo več elektronov v valenčnem pasu kot atomi v kristalni strukturi, imamo dopiranje tipa n (primer: dopiranje silicija s fosforjem). V primeru, da dodajamo elemente, ki imajo manj elektronov v valenčnem pasu kot atomi kristalne struktue, imamo dopiranje tipa p (primer: dopiranje silicija z borom).
Vnos dopantov spremeni strukturo energijskih nivojev v polprevodniku. Pri vnosu donorjev nastane v prepovedanem pasu dodatni energijski nivo, ki je blizu prevodnemu pasu. Elektroni potrebujejo relativno malo energije za preskok v prevodni pas. Pri dodajanju akceptorjev pa nastane dodatni energijski nivo, ki je bliže valenčnemu pasu. Energija za preskok v ta nivo je majhna. Preskok pa pusti za seboj vrzel, ki se obnaša kot pozitivni naboj.
Vnešeni so donorji. Energija za preskok v prevodni pas je majhna. |
Vnešeni so akceptorji. Elektroni preskočijo in za seboj pustijo vrzel |
Dopiranje se izvaja na nekaj načinov. Najbolj pogosti načini so:
Pri difuziji se izkorišča termično gibanje pri katerem dobimo skupni pretok molekul ali atomov iz področja z višjo koncentracijo v področje z manjšo koncentracijo molekul ali atomov.
Pri ionski implantaciji se vsadijo ioni neke snovi v drugo snov s pomočjo izvora ionov.
Pri nevtronskem dopiranju (najbolj pogosto pri dopiranju silicija s fosforjem ali galija z arzenom) izkoriščamo spremembo izotopov zaradi obsevanja z nevtroni. Stabilen izotop silicija 30Si obsevamo z nevtroni in dobimo radioaktiven izotop 31Si, ki ima razpolovno dobo samo 2,62 ur [3] [4].
To zapišemo na naslednji način:
S to metodo dobimo zelo enekomerno dopirano snov.