ASM International

ASM International
нід. ASM International N.V.[1][2][…]
Типбізнес і публічна компанія[4][5]
Правова формаNaamloze vennootschap[1][2][3]
Галузьнапівпровідникова промисловість[4][5][6]
Лістинг на біржіEuronext Amsterdam: ASM[4][5][7]
ISINNL0000334118
Засновано1968[4]
Засновник(и)Arthur del Pradod[4]
Штаб-квартираАлмере[1][2][…]
Виторг2 634 331 000 € (31 грудня 2023)[8]
Операційний прибуток (EBIT)653 700 000 € (31 грудня 2023)[8]
Чистий прибуток752 073 000 € (31 грудня 2023)[8]
Активи4 226 727 000 € (31 грудня 2023)[8]
Співробітники4542 осіб (31 грудня 2023)[8]
Дочірні компаніїASM Japand і ASM International (Belgium)d[9]
asm.com​(англ.)
Мапа

ASM - це транснаціональна корпорація зі штаб-квартирою в Нідерландах, яка спеціалізується на розробці, виробництві, продажі та обслуговуванні обладнання для обробки напівпровідникових пластин для виробництва напівпровідникових пристроїв. Продукція ASM використовується виробниками напівпровідників у виробництві напівпровідникових приладів на своїх заводах. Технології ASM включають атомно-шарове осадження, епітаксію, хімічне осадження з парової фази і дифузію[10].

Компанія була заснована Артуром дель Прадо (1931-2016) як «Advanced Semiconductor Materials» у 1964 р[11]. З 2008 по 2020 рік син Артура дель Прадо, Чак дель Прадо, був CEO.

ASM стала першовідкривачем важливих аспектів багатьох усталених технологій обробки пластин, що використовуються в промисловості, включаючи фотолітографію, хімічне осадження, іонну імплантацію, однопластинчасту епітаксію, а в останні роки - атомно-шарове осадження. Компанії з виробництва напівпровідникового обладнання ASML, ASM Pacific Technology (ASMPT) і Besi є колишніми підрозділами ASM[11][12].

Штаб-квартира ASM розташована в Алмере, Нідерланди. Компанія має науково-дослідні центри в Альмере (Нідерланди), Гельсінкі (Фінляндія), Левені (Бельгія, поблизу IMEC), Фініксі (Аризона), Тамі (Японія) та Донгтані (Південна Корея). Виробництво в основному відбувається в Сінгапурі та Донгтані (Південна Корея). ASM також має офіси з продажу та обслуговування по всьому світу, включаючи США, Південна Корея, Китай, Тайвань, Японія, Сінгапур та Ізраїль. Станом на 2021 рік в організації працювало 3312 співробітників у 14 країнах світу[10].

Продукція

[ред. | ред. код]

ASM розробляє і продає як інструменти для осадження на одну напівпроводникову пластину, в яких процес виконується по одній пластині за раз, так і інструменти для оьроьки пачки пластин, в яких осадження виконується на декілька пластин за раз. Ціни на системи компанії варіюються, але зазвичай вони кратні мільйонам євро за систему.

Продукти ASM можна класифікувати за методом осадження:

Атомно-шарове осадження - це пошаровий процес, який призводить до осадження тонких плівок по одному атомному шару за раз під ретельним контролем. Шари формуються під час реакційних циклів шляхом почергової імпульсної подачі прекурсорів і реагентів та очистки інертним газом в проміжках між кожним імпульсом. ASM пропонує однопластинні інструменти ALD у двох технологічних сегментах: термічний ALD і плазмово посилений ALD (PEALD). Інструменти ALD від ASM включають Synergis, Pulsar та EmerALD. Інструменти PEALD включають Eagle XP8 та XP8 QCM[10].

Епітаксія - це процес, який використовується для осадження точно контрольованих кристалічних шарів на основі кремнію, які є важливими для електричних властивостей напівпровідникових пристроїв. Процес епітаксії кремнію може бути використаний для модифікації електричних характеристик поверхні підкладки для створення високопродуктивних транзисторів під час виробництва напівпровідникових мікросхем. Епітаксійні інструменти ASM є інструментами для однієї підкладки й включають Intrepid та Epsilon[10].

Хімічне осадження з парової фази - це процес хімічного осадження, в якому підкладка піддається впливу одного або декількох летких прекурсорів, які вступають в реакцію та/або розкладаються на поверхні пластини для отримання бажаної плівки. В рамках хімічного осадження з газової фази (CVD) ASM пропонує два типи інструментів: одношарове плазмове хімічне осадження з газової фази (PECVD) та серійне CVD при низькому тиску (LPCVD). ASM пропонує процеси PECVD на одній підкладці на установці Dragon XP8. ASM забезпечує серійні процеси LPCVD/дифузії на вертикальній печі A400 DUO та нових інструментах Sonora[10].

Примітки

[ред. | ред. код]
  1. ↑ а б в г Торговий реєстр Нідерландів
  2. ↑ а б в г Legal Entity Identifier
  3. ↑ а б OpenCorporates — 2010.
  4. ↑ а б в г д е CrunchBase — 2007.
  5. ↑ а б в г Thomson Reuters Open Perm ID — Thomson Reuters.
  6. ↑ https://www.semi.org/en/resources/member-directory/asm-international-nv — SEMI.
  7. ↑ ASM International N.V. — Euronext Amsterdam.
  8. ↑ а б в г д Annual Report 2023 — ASM International, 2024.
  9. ↑ Research Organisation Registry — 2019.
  10. ↑ а б в г д Annual Report 2021 (PDF). Annreports.com. Процитовано 31 січня 2023.
  11. ↑ а б A Tribute to Arthur del Prado - Father of Europe's Equipment industry. vlsiresearch.com. Процитовано 5 червня 2020.
  12. ↑ Chapter 24 - The only way is up, 1994-1996 (PDF). techwatchbooks.nl. Процитовано 5 червня 2020.